| Тип параметра
|
Sio2Технический индекс
|
| Размер продукта | 2ДюймовSIO2Кремниевая Пластина
|
| Метод подготовки | LPCVD |
| Поверхность |
На одной стороне полировка/Двусторонняя окисления
|
| Вафли Диаметр | 50,8±0,3 мм |
| Тип | PТипСигнал/шумТип
|
| С украшением в виде кристаллов ориентации | 100 |
| ResistivityΩ |
<0,05Другое изготовления на заказ
|
|
ПланенессМДП
|
<3um |
|
КороблениеTTV
|
<10um |
|
Степень изгибаЛук
|
<10um |
|
ШероховатостьРА
|
<0.5nm |
|
ЗернистостьPewaferr
|
<(Для размера>0.3um)
|
| Толщина оксидного слоя | 300 nmother адаптируемые под требования заказчика |
|
ТолщинаUm
| 400um |
| Цель |
Носители образцов для процесса изосинхротронного излучения,PVD/сердечно-сосудистых заболеванийПокрытие в качестве подложкиМагнетронное распыление ростаРСА SEMАтомно-Инфракрасном спектреФлуоресцентная спектроскопия и другой анализ и измерение субстратов,XРентгеновский анализ кристаллическая полупроводниковая литография и другие приложения для исследований 。
|